CMOS制作步骤(一):双阱工艺
现在犀利士 COMS工艺多采用的双阱工艺制作步骤主要表现为以下几个步骤: ■ N阱的形成 外延生长 *外延层已经进行了轻的P型掺杂 原氧化生长 这一氧化层主要是a)保护表面的外延层免受污染,b)阻止了在注入过程中对硅片过度损伤,c)作为氧化物层屏蔽层,有助于控制流放过程中杂质的注入深度 第一层掩膜 ,n阱注入 n阱注放(高能) 退火 退 … 阅读更多
成一家之言
现在犀利士 COMS工艺多采用的双阱工艺制作步骤主要表现为以下几个步骤: ■ N阱的形成 外延生长 *外延层已经进行了轻的P型掺杂 原氧化生长 这一氧化层主要是a)保护表面的外延层免受污染,b)阻止了在注入过程中对硅片过度损伤,c)作为氧化物层屏蔽层,有助于控制流放过程中杂质的注入深度 第一层掩膜 ,n阱注入 n阱注放(高能) 退火 退 … 阅读更多
1.Pipeline ADC校准 高速高精度流水线ADC是模拟集成电路的重要组成部分。由于制造工艺的原因,ADC中的采样电容宗师存在不匹配的问题,采样电容的不匹配会造成ADC的线性度变差,在频谱上表现为无杂散动态范围(SFDR,Spurious Free Dynamic range)变差。 调高SFDR的校准方法有动态电容匹配技术(DEM,dynamic element matching)技术,抖 … 阅读更多
经常有学生问:为什么叫交感神经? 以前被问到时,总是含糊其辞,从解剖、生理和药理上讲一通,学生能理解其含义。唯独,为什么要这样命名,没讲清楚,想来惭愧。 交感神经,英文是 sympathetic nerve。 sympathy,词义是“同情,同感,和谐一致”,最先由盖伦命名。 西方医圣“盖伦” 盖伦Galen(公元约129-约210),罗马帝国时期希腊人,是希波克拉底Hippo … 阅读更多
本文来源马基雅维利《君主论》,拿破仑批注版。 Ⅰ 需要关注这一章,我最多也只能统治三十年,因此需要有能力的子嗣继承我的统治。(皇帝时期) 在考虑保有一个新获取〔征服〕的国家所存在的困难时,有人可能会对此感到惊奇:亚历山大大帝在几年间就成为亚洲的统治者,而在他刚刚夺取它之后他就死了——整个国家由此发生反叛似乎是合乎情理的;然而,为什么亚历山大的后继者们却仍然维持它,(Ⅱ 仅仅因为亚历山大名字的力量, … 阅读更多
附《关于进一步减轻义务教育阶段学生作业负担和校外培训负担的意见》全文 打破“唯分数论”,优化评价体系,淡化分数焦虑;提升学校教育的质量与水平,提高课堂效率 “内容上超前超纲,方式上应试刷题,这些都违背学生身心发展规律。部分机构以由难到易的套路式教学,让学生在短期学习中获得拔苗助长式的‘伪成功’,满足家长急于求成、望子成龙的心理。而家长间的攀比、不顾孩子特点的盲目跟风,引发‘全民学奥数’‘ … 阅读更多
基于应变硅技术的半导体器件的应力分析_胥传金 掺杂硅与二氧化钒平板间的近场辐射传热及其热整流性能研究_杨培培 早在20年前,Hargreaves[61]在1.5~6 μm的真空间距范围内,采用观测干涉条纹法,测量了由金属铬(Gr)组成的两平行圆盘在热发射端和冷接收端温度分别为323K和306 K时的辐射传热特性,同时强调了近场辐射传热受小于2.5 μm的真空间距的影响,结果与Polder等人[7] … 阅读更多
在中国古代, 科举制度选拔了一大批从政的精英人才。经过激烈竞争、层层筛选而金榜题名的科举人才, 构成了中国1300 年历史上官员队伍中平均文化素养最高的基干和主体。由于科举制是实行全国统一考试, 各个地区的应试者必须接受同样的测试标准,其中脱颖而出者总体而言当然要比名落孙山者具有更高的文化水平。因此, 科举活动的盛衰和中举及第人数的多寡是中国封建社会后期衡量一个地区文化发达水平的最重要、最客观的指 … 阅读更多
[mathjax] 我现在刊行第一卷的这个著作,是1859年拙著《政治经济学批判》的续篇。自前书刊行到现在,已隔离了长久的岁月了。这是多年宿疾,屡次中断我的工作的缘故。 前书内容,已概述在此卷前数章内。此不仅为求连贯与完全。说明的方法也改良了。在情形许可的限度内,有许多点,只在前书略略提到的,在本书是论述得更详细了;反之,已在前书详细讨论过的,在本书,却仅略略提到。前书叙述价值与货币学说史的几部分 … 阅读更多
商业模式,量化交易软件,按时计费给用户用,软件内卖策略,卖解锁功能 一、开发环境 建立工程 1.1 VisualStudio2017 选择vs2017,原因是它支持python。在c++项目中,需要修改头文件库,链接器附加库目录和链接器输入选项。 1.2 winpython安装额外库 1.3MFC组织结构 在线文档:https://docs.microsoft.com/zh-cn/cpp/mfc/ … 阅读更多
本期嘉宾:吴贤良,出生于1978年,本科毕业于苏州大学数学系,在北美完成工商管理硕士学业后回国,于2003年创办科斯伍德(以下简称“公司”),并担任董事长兼总经理至今。 整理/一校/二校:教研汇运营团队 秦雨/Chen/熊阳晨 一.战略规划 1.1 科德教育的发展历程 科斯伍德于2008年进行股改,于2011年在创业板上市,是A股胶印油墨行业的第一家上市公司。由于油墨行业的天花板较低,我带领公司于 … 阅读更多
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更多量化交易编程: 期货量化交易FutureQuant开发日志 K先绘画器 来源于开源项目WnStock WnStockView.cpp tick数据处理器 来源vnpy-2.0.9 vnpy/app/engine.py
重疾险是保险中很重要的一块,很多朋友产生保险意识时,首先想到的就是买重疾险。问题不外乎有以下几种: “重大疾病保哪些病?” “XX这种情况能不能理赔?” “XX是不是重大疾病?” 很多人对重疾险的规定不是很清楚,甚至不少人买了保险也不了解。 今天我就给大家分享一下关于保监规定重疾险中25种重疾的定义。 经中国保险监督管理委员会审查同意并成立的中国保险业协会在2007年4月3日颁布并实施的《重大疾病 … 阅读更多
目录 二、CL_RedRover_L 三、CL_DisplacedBoll_L 四、CL_Traffic_Jam_L 五、品种 七、CL_RedRover_L增加ratio变量 八、CL_DoubleYourFun_L对菜粕策略 九、关于菜粕的CL_RedRover_Modified_策略的研究 十、KDJ指标 螺纹钢——CL_RedRover_S(ATRs=3和ATRLength=10)和CL_ … 阅读更多
因为自己最近在学习做期货交易,想要下载期货的行情数据来做分析。有一些交易软件是可以导出数据的,但是导出的过程还是需要很多的手工操作,自己在想能不能通过Python程序来实现呢。 新浪期货数据接口介绍 通过在网上搜索找到了新浪财经的期货数据API用法,详细可以参考这个链接: 利用Python脚本来获取期货行情数据
强调一点最关键的:cuteftp里的设置一定要看 上面是最简的/etc/vsftpd.conf文件 转载自:如何在Ubuntu 18.04上使用VSFTPD设置FTP服务器 FTP(文件传输协议)是一种标准的网络协议,用于在远程网络之间传输文件。为了更安全,更快地传输数据,请使用 SCP 或 SFTP 。 有许多可用于Linux的开源FTP服务器。最受欢迎和 … 阅读更多
官网链接:九鼎创展X210开发板 X210开发板 CPU : S5PV210,ARM Cortex-A8 主频 : 1GHz 内存 : 512MB/1GB DDR2可选,标配512MB; Flash : 支持512MB nand flash/4GB inand可选,标配4GB inand x210v3由核心板,底板和液晶板三大块组成,核心板采用8层 … 阅读更多
两周前我接受《科工力量》的访问(参见中国要和平崛起,基础科研需要“讲实话”,资金要用在刀刃上|科工力量- YouTube),表面上从假大空谈起,但实际上是对新时代的中国学术管理做一些具体的建议。新时代是什么意思?我指的是经过中美贸易战的教训,中国在2020年推出全新的“双循环”经济战略之后的时代。 有评论家说,在2008年金融危机之后,中方早已未雨绸缪,转为以内需驱动经济成长,以避免过度依赖出口, … 阅读更多
两篇文章 凭本事借的3000亿,华夏幸福到底是怎么造掉的 产业新城里,没有产业。 无论是固安的近百平方公里,还是嘉善的16平方公里,华夏幸福用来圈地的钩子,都是产业。 那么,这些产业的落地究竟如何? 下面这些照片,是我在固安产业新城拍到的实景。 在下班高峰期的肽谷医药孵化港,我看到—— 园区内,一片漆黑。 只剩下,道路照明和门口站岗的两位保安。 在上班高峰期的航空产业园,我看到—— 偌大50栋楼的 … 阅读更多
拥有完整的科研体系和科研机构。紫金矿业已建成国内黄金行业唯一的国家重点实验室,并拥有国家级企业技术中心、院士科研工作站、博士后科研工作站、矿冶研究院等一批高层次研发平台和科研设计实体。矿冶研究院主要研究黄金及有色金属采、选、冶、环境治理及资源综合利用工程,重点在难处理金矿、低品位铜矿等领域卓有成效,拥有国家级/省部级成果14项,获福建省科学技术一等1项,二等奖2项,获中国黄金协会科技进步一等奖3项 … 阅读更多
还没有Tushare账号?注册由此去:官网注册Tushare 本篇为vnpy-tushare-ctp系列文章之一,其他文章请前往: ubuntu 18.04 安装 vnpy2.0.9 吐血总结 东吴期货CTP自行开发穿透式监管认证指导 一、缘起 为vnpy制作tushare数据接口,实际上是为了日线级别的均线策略。目前的思路是在每天的9:30分时候策略开始生效,读取之前一天的数据,而这些数据可以通 … 阅读更多
本文为Ubuntu-VNPY-CTP系列第一篇,下面是后续文章 vnpy在CTP穿透式验证在ubuntu下的编译 东吴期货CTP自行开发穿透式监管认证指导 vnpy不使用rqdata,尝试tushare 前传:ubuntu虚拟内存(可选) 如果使用云服务器,可能会面临内存不足的情况。可以使用虚拟内存。 把虚拟映象文件转换成 swap 文件: 激活 swap: 最后如果需要卸载这个 swap 文件, … 阅读更多
改革开放40年,中国的市场经济从无到有,从小到大。近5年,也逐渐从外向型经济向内生性经济转型。深圳作为我国对外开放的窗口,受益于内外的技术市场巨大断层,在时代浪潮中得以迅速成长,同时也培育起了万科等房地产企业。而今,随着我国中高端制造业的设计制造能力的综合提升、居民消费后顾之忧的逐渐弱化以及以高铁为骨干的广覆盖的交通网成型,以往两头在外的国际贸易模式正在逐步改变。高地租、高工资促使制造业向内陆如河 … 阅读更多
2014年3月7日 国海证券 日发精机 公司“转型”深度涉足航空制造业 4.1、飞机装配概念与国内现状 飞机结构尺寸大,外形复杂,其结构件主要是钣金件或复合材料壁板件组成的薄壳结构,特点是形状复杂,加工、装配难度大。其次,飞机零部件多达几万甚至几十万个,其结构可划分为机身、机翼、垂直尾翼、水平尾翼、襟翼、副翼、升降舵、发动机舵、舱门、口盖等。 飞机零件加工与装配的每一个环节的好与坏,都会直接影响整 … 阅读更多
1979-1982年就读于西安交通大学金属材料专业,毕业后在北京钢铁研究总院从事特种金属材料的研究,并获得博士学位。1993年已经获得博士学位的蒲忠杰作为访问学者进入美国佛罗里达国际大学,并得以接触心脏支架的研发工作。之后,蒲忠杰在美国一直从事生物材料和介入医疗器械的研制开发工作,其间共申请了15项国家专利。 胡问鸣1982年毕业于南京航空航天大学,毕业后长期在航空工业苏州长风机械总厂工作,历任培 … 阅读更多
开此贴是为了广大股友做研究有数据可循。 几篇优秀长研报免费下载,研究乐普医疗基本上就够用了。另外所有研报打包1元。 仔细研究数据,对公司股票价格进行考古研究,有助于您形成成熟的投资体系,轻松识别伪大师。 20200306-国盛证券-乐普医疗(300003.SZ):布局心血管医疗全产业链,不断创新推动持续发展 链接:https://pan.baidu.com/s/1LbExFlt28upa106wL … 阅读更多
2020年半年报报告期内,公司实现营业收入373.72亿元,较上年同期下降3.51%,实现归属于上市公司股东的净利润60.62亿元,较上年同期下降28.52%,主要系受疫情影响,公司在环北京等主要区域的房地产项目交付结算滞后,导致房地产业务收入同比下降30.24%。公司产业新城业务克服困难,实现园区结算收入额198.44亿元,同比增长45.68%,其中产业服务收入132.09亿元,同比增长11.2 … 阅读更多
乐普的起搏器稳步而比较全面,虽然不是绝对领先,但也能够覆盖大多数应用场景。产品研发考虑商业环境整体,我是很认同的。随着市场的打开,后面补上一些先进或特种型号就可以了。 乐普医疗 心脏起搏器是治疗心动过缓的唯一有效疗法。心动过缓患者的基础心率偏慢,通常每分钟心跳次数少于60次。据统计,中国目前约有100万心动过缓患者,平均每年新增患者30-40万人。一直以来,由于中国企业未能完全掌握心脏起搏器的核心 … 阅读更多
乐普(北京)医疗器械股份有限公司关于对2019年年报问询函的回复 深交所创业板公司管理部: 2020年5月14日,我公司收到贵所《关于对乐普(北京)医疗器械股份有限公司的年报问询函》(创业板年报问询函【2020】第216号),对问询函中所涉问题,我公司做书面说明如下: 一、关于商誉及商誉减值 问题一、2019年,你公司新增商誉6.65亿元,主要系报告期内对参股公司博鳌生物、优加利和源动创新增持股纳 … 阅读更多
纵观企业发展史,一家企业发展壮大无非是通过两种方式: (1)内生式发展,每年的留存收益用于研发扩大再生产; (2)外延式扩张,融资或借钱并购其他企业的业务。 除创业早期1991年收购中国医科院药研所研发的抗癌新药异环磷酸胺专利权外,恒瑞医药(600276.SH)完全采取的是内生性发展,严格意义上并没有收购其他企业,详见《“药王是怎样炼成的”:恒瑞医药,无并购、零借款、高投入、高增长》。 而乐普医疗 … 阅读更多
支架集采 乐普中标价是一年前就想好的,希望价格下降后,通过创新产品竞争。 吉威中标第一名可以分未中标份额中的30w*10%=3w;其余丢标部分,各家竞争。吉威这个价格还有利润。 整体上,中标量/总量:75.5w/202w(68w不锈钢+133w钴基),中标仅占市场量的1/3左右 中标的按中标价执行,丢标的按接近中标价进行,不锈钢支架同样参与市场化竞争。 产品报过的价格,以后不能高于这个 … 阅读更多
重要信息点: 江苏集采后,市场占有率从16%上升到27% 基因检测已经全国布局,核酸检测医保全额报销,2月份量刚刚开始放出。 子公司:爱普益、乐普科技 相关新闻: 恩济和被A股心脏支架龙头乐普医疗纳入麾下 DSA血管造影系统装备,二甲医院要增量,现在排在第四位,前三位都是进口,国产替代。现在国产份额百分之二点几。 公司进一步研制新型血管造影系统设备DSA,以实现高中低端系列设备型谱化,满足不同医疗 … 阅读更多
2020年11月21日,广西白糖现货5200一线,因为是陈糖,可以忍受一定亏损。这个价,低于国内糖的成本,长期来看,是不能忍受的。
摘要:为了对乙烯裂解原料进行优选及优化利用,开展了加氢裂化石脑油、煤化工石脑油、直馏石脑油、柴油加氢石脑油、焦化加氢石脑油的热裂解试验,分别对其裂解产物中乙烯、丙烯、丁二烯、甲烷、抽余C4、裂解液相产物收率进行了对比分析。结果表明,不同种类石脑油的裂解产物分布和收率存在很大差异。如煤化工石脑油、焦化加氢石脑油裂解多产乙烯,加氢裂化石脑油裂解多产丙烯,直馏石脑油裂解丁二烯收率高达6.11%,焦化加氢 … 阅读更多
支架行业整体受到了社会主义铁拳的暴击。流通环节急剧压缩。 钴基支架占乐普营收占比2%。 高端支架仍能保持高价。强研发是企业的唯一核心方向。 从技术上看,每次下跌的幅度逐渐缩小。 nano没有被踩属于第三代,对标微创火鹰,仍有很大可能保持江苏省集采价格。 收入简单排一下,在2019年年报的15.3亿营收当中,Partener未知,Gureater大概3亿多,Nano系列7亿,Neovas占1.5亿。 … 阅读更多
第一章瓦迪萨利骚乱:国家重建经济隔都 1948年,犹太人终于在“奶与蜜之地”建立以色列国,犹太人从此不再仅仅拥有种族身份,还有国家身份。然而,当建国之愿、重聚之喜退却过后,移民到以色列的犹太人之间因政治地位、经济格局、宗教信仰等的不同逐渐产生隔闻,同时政府在安置来自不同区域的移民时所实施的条块分割政策,即将富裕的欧美改革派安置在大城市工作和生活而贫困的犹太教正统派、极端正统派被安置在落后的郊区或沙 … 阅读更多
纳卡地区已经成为亚美尼亚和阿塞拜疆双边关系的一个“脓疮”,冲突时有发生。 2020年的9月底,高加索地区的枪炮声引起了世界的广泛关注,亚美尼亚和阿塞拜疆在存在争议的纳卡地区(纳戈尔诺卡拉巴赫)发生了高烈度的冲突。中美欧俄等大国以及联合国都呼吁双方保持克制,以谈判方式解决问题。两个高加索小国之间的冲突背后是后帝国空间秩序构建之难,在全球战略稳定格局遭受冲击的时候,高加索地区的战争和冲突有可能带来系统 … 阅读更多
一、犹太人在美国的发展历程 综观犹太人在美国的发展历程,依据不同时期的历史特点,该族群在美历史大致可以划分为六个阶段: 1.抵达美洲新大陆(1754—1776) 1754年,有23位犹太人组成一个团体抵达了美国,他们是第一批抵达美国这片新大陆的犹太人,在此之前只有零星的几位犹太人曾抵达这里,这是关于犹太人移居美洲的最早记录。在美国独立之前,几乎所有抵达美洲的犹太人都定居于新大陆的东北地区。 这一阶 … 阅读更多
EDA虚拟系统安装使用 采用最新虚拟软件VMware12 Pro安装的EDA虚拟机系统,操作系统使用红帽企业版。集成了Synopsys、Cadence、Mentor等主流软件,以及一个ADS数模混合仿真软件。内置台积电90ns和中芯国际180ns的前端和后端所有的工艺库。 VMware后的版本只支持64位,不再提供32位版本。本虚拟系统安装的是Red Hat Enterprise Linux 6. … 阅读更多
参考文献: 非常好的文献: 变焦显微镜设计——林明发 下面是高国欣的“光学设计指引贴6”的附件中的宏程序:二组元变焦曲线计算.zpl。 把上面的结构输入ZEMAX当中 评价函数 简要的变焦扫i宏 附件: 光学设计指引贴6+变焦显微镜设计——林明发
被去年推出的综艺《喜欢你我也是》所吸引,我逐渐开始关注传递娱乐这个港股上市公司。 这个节目跟随素人恋爱观察的综艺潮流,质量上确实上乘。选中来参加节目的人不乏让人喜爱的“问姐”、“小黄”。关键是节目中传达的一种隐小资的生活环境,真的令现代城市男男女女瞬间放弃抵抗。从此可见,公司打造产品的能力非常强。另外,以真人形式出现在节目中的赵文竹,竟然是传递娱乐的管理层,年纪轻轻,如此成功,而且长相甜美,简直是 … 阅读更多
最近由于新型冠状肺炎,股市和商品都跌了不少。2020年2月3日开盘,A股下跌8%,千股跌停。WTI原油从1月份初的62美元跌到了现在的50美元(2月9日)。 这其中主要反映的是对疫情的悲观预期。 在50美元的价格,我认为原油的下跌空间不大了。也就是说,在这里网格交易做多策略可以入场了,美股的三倍做空原油ETN(NYSE:DWT)也可以分批做空了。 为什么呢? 我们掏出沙特阿美在2019年上半年的财 … 阅读更多
vnpy station支持图形化的操作界面,然而我们在进行模板调试的时候更多地需要在命令行下进行debug,为此需要在python运行环境中编制程序,调用vnpy回测模块。 一、真相只有一个 在一个稍微大一些的面向对象程序中,总会有俄罗斯套娃似的多层封装,找到真正的功能代码并不总是那么容易。 在Qt图形界面,开启回测的命令是在/vnpy/app/ui/widget.py的start_backte … 阅读更多
躺平叔 一大批假富人正集体崩塌||消费熄火失业比想象严重【后段医保收入错误,没有考虑到统计口径】,参考:前4月职工医保基金收入减少23%?国家医保局官方发声后,知名基金经理还在传谣
CATIA入门操作案例——创成式曲面设计案例,吹风机的绘制,多截面曲面的绘制,曲面偏移和修剪
锂电池是一种常见的充电电池,通常由正极、负极、电解质和隔膜等组成。在锂电池中,正极和负极是两个重要的极性部分,分别负责电荷的释放和吸收,那什么是锂电池的正极负极和锂电池阳极和阴极是什么意思呢? 什么是锂电池的正极负极? 锂电池正极:正极是电池中负责储存正电荷的极性。在锂离子电池中,典型的正极材料包括锂金属氧化物,比如锂钴氧化物(LiCoO2)、锂铁磷酸盐(LiFePO4)等。正极材料是 … 阅读更多
锂电池是一种常见的充电电池,通常由正极、负极、电解质和隔膜等组成。在锂电池中,正极和负极是两个重要的极性部分,分别负责电荷的释放和吸收,那什么是锂电池的正极负极和锂电池阳极和阴极是什么意思呢? 什么是锂电池的正极负极? 锂电池正极:正极是电池中负责储存正电荷的极性。在锂离子电池中,典型的正极材料包括锂金属氧化物,比如锂钴氧化物(LiCoO2)、锂铁磷酸盐(LiFePO4)等。正极材料是通 … 阅读更多
热敏电阻B值简析https://blog.csdn.net/xp562870732/article/details/108062039
一、LTCC基板电路概述 低温共烧陶瓷 (LTCC) 技术是集互联、无元件和封装于一体的多层陶瓷制造技术。随着科技的不断进步,现在的电子产品的外观可以变得更小更薄,但功能更强大。以手机的无线通信行业为例,手机的尺寸缩小,早期的移动电话的功能是从最简单的音频传输数据开始,现在已经发展成掌上网络电脑。如果可以将部分无源元件集成到基板中,则不仅有利于系统的小型化,增加电路的组装密度,还有利于提 … 阅读更多
层间介质(ILD)充当了各层金属间以及第一层金属与硅之间的介质材料。层间介质上有许多小的通孔,这些层间介质上的细小开口为相邻的金属层之间提供了电学通道。通孔中有导电金属(通常是钨,称为钨塞)填充,钨塞放置在适当的位置,以形成金属层间的电学通路(见图1,图2)。第一层层间介质是下面将要介绍的一系列互连工艺的第一步。 Via-1形成的主要步骤Via-1形成的主要步骤 第一层ILD氧化物 &n … 阅读更多
CMOS制作步骤中接触孔形成后下一步便是在晶体管以及其它钛硅化物接触之间布金属连接线。在下面的工艺流程中用的方法称为局部互连(LI)。形成局部互连的步骤与形成浅槽隔离的步骤一样复杂。工艺首先要求淀积一层介质薄膜,接下来是化学机械抛光、刻印、刻蚀和钨金属淀积,最后以金属层抛光结束(图1和图2)。这种工艺称为大马士革(damascene),名字取自几千年前叙利亚大马士革的一位艺术家发明的一种技术。这步 … 阅读更多
接触孔形成工艺的目的是在所有硅的有源区形成金属接触。这层金属接触可以使硅和随后沉积的导电材料更加紧密地结合起来(如下图)。硅片表面的沾污和氧化物被清洗掉后,会利用物理气相沉积(PVD)在硅片表面沉积一层金属,即在一个等离子的腔体中带电的氩离子轰击金属靶,释放出金属原子,使其沉积在硅片表面。之后对硅片进行高温退火,金属和硅在高温下形成金属硅化物,最后用化学方法刻蚀掉没有发生反应的金属,将金属的硅化物 … 阅读更多
在侧墙形成后,需要进行的就是源/漏注入工艺。先要进行的是n+源/漏注入,光刻出n型晶体管区域后,进行中等剂量的注入,其深度大于LDD的结深,且二氧化硅构成的侧墙阻止了砷杂质进入狭窄的沟道区。接下来进行P+源/漏注入,在光刻出了要进行注入的P型晶体管区域后,同样进行中等剂量注入,形成的结深比LDD形成的结深略大,侧墙起了同样的阻挡作用。注入后的硅片在快速退火装置中退火,在高温状态下,对于阻止结构的扩 … 阅读更多
为了防止大剂量的源漏注入过于接近沟道从而导致沟道过短甚至源漏连通,在CMOS的LDD注入之后要在多晶硅栅的两侧形成侧墙。侧墙的形成主要有两步:1. 在薄膜区利用化学气相淀积设备淀积一层二氧化硅。2. 然后利用干法刻蚀工艺刻掉这层二氧化硅。由于所用的各向异性,刻蚀工具使用离子溅射掉了绝大部分的二氧化硅,当多晶硅露出来之后即可停止反刻,但这时并不是所有的二氧化硅都除去了,多晶硅的侧墙上保留了一部分二氧 … 阅读更多
随着栅的宽度不断减小,栅结构下的沟道长度也不断的减小, 为了有效的防止短沟道效应,在集成电路制造工艺中引入了轻掺杂漏工艺(LDD),当然这一步的作用不止于此,大质量材料和表面非晶态的结合形成的浅结有助于减少源漏间的沟道漏电流效应。同时LDD也是集成电路制造基本步骤的第四步。 N-轻掺杂漏注入(nLDD) N-LDD光刻刻印硅片,得到N-区注入的光刻胶图形,其它所有的区域被光刻胶保护 N-LDD注入 … 阅读更多
晶体管中的多晶硅栅(polysilicon gate)结构的制作是整个CMOS流程中最关键的一步,它的实现要经过栅氧层的形成和多晶硅栅刻蚀这两个基本过程,多晶硅栅的最小尺寸决定着一个工艺的特征尺寸,同进也为下面的源漏注入充当掩膜的作用,这也是做为IC版图工程师需要掌握的基础知识。 多晶硅栅结构制作基本步骤一:栅氧化层的生长。清洗掉硅片曝露在空气中沾染的杂质和形成的氧化层。进入氧化炉生长一薄层二氧化 … 阅读更多